昭和59年版 通信白書

第2節　基礎技術

　　1　大規模集積回路

　大規模集積回路は，コンピュータ，通信機器等電気通信技術全般にわたる各種装置の小型・軽量化，高機能化，経済化，高信頼化に大きく貢献することが期待され，その高集積化のための研究開発が進められている。現在，256ｋｂＬＳＩメモリの情報処理装置への導入が進んでおり，さらに，電電公社においては，4Ｍｂ以上の大容量メモリの開発が進められている。また，50Ｋゲート規模のプロセッサ等の開発が進められるとともに，ディジタル通信用諸装置への適用を目的とした通信制御用ＬＳＩ，ファイル制御用の論理ＬＳＩ等の導入が進められている。
　加工技術としては，電電公社において最小パターン幅0.5μｍの微細化プロセスに適した電子ビーム露光技術及び素子・回路設計製作技術の高度化・自動化等の研究が進められ，超ＬＳＩプロセス技術の確立を図っている。
　また，0.5μｍ以下のパターン形成のために，シンクロトロン放射光を用いたパターン転写装置の研究も進められている。