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第2節 基礎技術1 大規模集積回路大規模集積回路は,通信機器の小形軽量化,経済化,高信頼化等が図れるものとしてコンピュータはもとより電気通信技術全般に大きく貢献することが期待され,その高集積化のための研究開発が進められており,数mm角に4Kビット,16Kビットの記憶容量を持つメモリが実用化され,電子交換機,情報処理装置等に導入が図られている。電電公社においては,微細パターン形成技術等高集積化の研究が進められてきており,6mm角当り64Kビットの記憶容量を持つ超LSIメモリ(MOS形ランダムアクセスメモリ)が世界に先がけて開発され,実用化に大きく前進している。 また,この技術を更に発展させ,電子ビーム露光技術を適用して,高性能で低消費電力の128Kビットの読出専用メモリ(ROM)の開発に成功している。これは現在世界で最も高集積化が進んだROMである。
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