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第2節 基礎技術1 大規模集積回路大規模集積回路は,コンピュータ,通信機器など電気通信技術全般にわたる各種装置の小型軽量化,経済化,高信頼化に大きく貢献することが期待され,その高集積化のための研究開発が進められている。64kビットのLSIメモリの情報処理装置等への導入が開始され,さらに,電電公社においては256kビットのLSIメモリの試作を行い,世界でも初めてその動作確認に成功した。また,ディジタル通信用諸装置への適用を目的とした通信制御用LSI,ファイル制御装置用の論理LSI等の導入が進められている。加工技術として,電電公社においては最小パターン幅1μmの微細化プロセスに適した電子ビーム露光技術及び素子・回路の設計製作法等の研究が進められ,超LSIプロセス技術の確立を図っている。
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